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石墨类产品纯化

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山西中电科电子装备有限公司

山西

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品牌：

山西中电科

型号：

石墨类产品纯化

关注度：

364

产品介绍

技术指标及产品用途

石墨件经过纯化得到<5PPM的高纯石墨产品高纯石墨部件用于半导体晶体生长、外延、离子注入、等离子蚀刻等制造工艺。


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