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RIGAKU日本理学新一代形貌检测系统 XRTmicron
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上海翱晶半导体科技有限公司
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RIGAKU日本理学新一代形貌检测系统 XRTmicron
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●X射线源：微焦点高亮度旋转阳极
●入射光学器件：多层平行光束准直器
●可使用晶体准直器
●自动更换样品（以水平配置为例）
●兼容投射&反射几何的测角仪系统
●使用高灵敏度和高分辨率X 射线照相机捕获数字图像
●位错形貌图像分析
●不仅用于研发，也用于批量质量管控
