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德国Raith电子束光刻机Pioneer Two

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产品介绍

德国 Raith Pioneer Two 电子束光刻机:

1.系统适用于2"及以下的样片,采用热场发射电子枪,加速电压为20V~30kV。可实现高分辨电子束曝光,*小验收线宽≤8nm。

2.系统中集成了高精度的激光干涉工作台,运动行程为50 x 50 x 25mm,XY方向定位精度2nm,可以实现精确的拼接套刻,拼接套刻精度≤50nm。

3.系统兼具了高精度成像度量的功能,其成像效果和市面上中高端的热场电镜类似,放大倍数为20x ~1,000,000x。

4.另外,除了标准配置, 客户还可以增加一些选配件,如选配背散射探测器、能谱仪等,进行材料分析;选配工作台旋转倾斜模块,实现不同角度的材料成像等。如果选择相应的选配件,请增加相应的价格。

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