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半导体级MPCVD设备
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西安德盟特半导体科技有限公司
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德盟特
半导体级MPCVD设备
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| 常规配置及参数 | |
|---|---|
| 电源输入: | 三相 380V (±10%), 15KVA |
| 微波电源功率: | 6KW（2.45GHz） |
| 样品台: | 8英寸水冷铜台 |
| 腔体生长压力: | 10-200Torr |
| 气体管路: | 标配4路（H2、O2、CH4、N2） |
| 反应腔体: | 卧式蝶形上翻盖金属水冷腔体 （带4个观察窗） |
| 主机柜尺寸: | 900mm(W)×850mm(D)×1680mm(H) （约320Kg） |
| 控制柜尺寸: | 570mm(W)×850mm(D)×1800mm(H) （约240Kg） |
