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DH5S—MPCVD半导体级MPCVD设备
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西安德盟特半导体科技有限公司
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德盟特
DH5S—MPCVD半导体级MPCVD设备
1767
| 常规配置及参数 | |
|---|---|
| 电源输入: | 三相 380V (±10%), 15KVA |
| 微波电源功率: | 6KW（2.45GHz） |
| 样品台: | 2英寸可升降水冷台 |
| 腔体生长压力: | 10-200Torr |
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