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DH5S—MPCVD半导体级MPCVD设备

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西安德盟特半导体科技有限公司

陕西

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

德盟特

型号:

DH5S—MPCVD半导体级MPCVD设备

关注度:

361

产品介绍

常规配置及参数
电源输入:三相 380V (±10%), 15KVA
微波电源功率:6KW(2.45GHz)
样品台:2英寸可升降水冷台
腔体生长压力:10-200Torr


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