粉体行业在线展览

产品

产品>

分析仪器设备>

半导体行业专用仪器

>电子束蒸发设备—E-Beam-HV

电子束蒸发设备—E-Beam-HV

电子束蒸发设备—E-Beam-HV

直接联系

合肥致真精密设备有限公司

安徽

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

致真精密

型号:

电子束蒸发设备—E-Beam-HV

关注度:

447

产品介绍

电子束蒸发设备可以在高真空和超高真空环境下实现精确的多层薄膜制备。线性电子束枪可以实现多种材料的蒸发。设备可选配考夫曼离子源实现晶圆的预清洗,可用于超导量子等领域,适用于高校及企业研发和小规模生产场合。

性能参数

晶圆尺寸4inch~8inch
极限真空优于1×10-7mbar
温控RT-800℃
电子束枪多坩埚旋转电子束枪,可选配坩埚数量和容量(标配,10KW,8×20cc)

六大特色 懂你所需

企业/高校性能之选

测试案列

        随着超导量子计算的发展,高校实验室和企业对于超导量子电路的核心器件——约瑟夫森结有着极高的制备要求。该设备可专门用于制备Al基、Nb基等各类约瑟夫森结,以下是制备的约瑟夫森结的光学照像。

约瑟夫森结的光学图像

温度测试

        下图是加热台温度测试图,加热台可以实现**800摄氏度的晶圆加热,并且电子束蒸发过程中温升较低,满足不同材料的沉积需求。


产品咨询

电子束蒸发设备—E-Beam-HV

电子束蒸发设备—E-Beam-HV

请填写您的姓名:*

请填写您的电话:*

请填写您的邮箱:*

请填写您的单位/公司名称:*

请提出您的问题:*

您需要的服务:

发送

中国粉体网保护您的隐私权:请参阅 我们的保密政策 来了解您数据的处理以及您这方面享有的权利。 您继续访问我们的网站,表明您接受 我们的使用条款

电子束蒸发设备—E-Beam-HV - 447
合肥致真精密设备有限公司 的其他产品

FLOW

半导体行业专用仪器
相关搜索
关于我们
联系我们
成为参展商

© 2024 版权所有 - 京ICP证050428号