粉体行业在线展览

产品

产品>

分析仪器设备>

半导体行业专用仪器

>MOCVD 金属有机化学气相沉积设备

MOCVD 金属有机化学气相沉积设备

MOCVD 金属有机化学气相沉积设备

直接联系

鹏城微纳技术(沈阳)有限公司

沈阳

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

鹏城微纳

型号:

MOCVD 金属有机化学气相沉积设备

关注度:

494

产品介绍

产品详情

MOCVD 金属有机化学气相沉积设备

可用于GaN、ZnO等的外延生长。

材料的输运采取了超纯的气路系统,源的切换和输入采用了多路组合阀进气技术。由于组合阀具有极小的死空间,使得源的残留量非常少,有利于生长具有陡峭界面的材料。


采用压差控制技术控制组合阀的旁路和主路之间的压力,大大降低了源的压力和浓度波动,有利于材料生长的重复性和稳定性。


采用了管道镶嵌式进气喷头,使反应源在衬底表面均匀混合并反应,大大降低了预反应的发生。


采用电阻式快速升降温加热炉。


产品咨询

MOCVD 金属有机化学气相沉积设备

MOCVD 金属有机化学气相沉积设备

请填写您的姓名:*

请填写您的电话:*

请填写您的邮箱:*

请填写您的单位/公司名称:*

请提出您的问题:*

您需要的服务:

发送

中国粉体网保护您的隐私权:请参阅 我们的保密政策 来了解您数据的处理以及您这方面享有的权利。 您继续访问我们的网站,表明您接受 我们的使用条款

MOCVD 金属有机化学气相沉积设备 - 494
鹏城微纳技术(沈阳)有限公司 的其他产品

FLOW

半导体行业专用仪器
相关搜索
关于我们
联系我们
成为参展商

© 2024 版权所有 - 京ICP证050428号