半导体行业专用仪器-叠层硅片全自动清边系统-苏州迈科芯纳智能科技有限公司-产品详情

叠层硅片全自动清边系统

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品牌：

迈科芯纳

型号：

叠层硅片全自动清边系统

关注度：

814

产品介绍

叠层硅片全自动清边系统

本设备配备高速振镜光学系统，对镀膜硅片四周多余膜层进行清除，旋转加工平台和视觉对位等系统有效保证设备节拍和精度，自动上下料结构满足联线量产需求。

兆瓦线、G瓦线等叠层量产客户

设备优势

1、多组上下料花篮缓存结构，设备容错率高；

2、独特设计视觉定位系统，极大提升刻线位置精度；

3、高速振镜光学系统，刻蚀速度高达60m/s，节拍快，产量高。

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叠层硅片全自动清边系统

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