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钙钛矿太阳能电池蒸发设备ZHDS400

钙钛矿太阳能电池蒸发设备ZHDS400

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北京泰科诺科技有限公司

北京

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品牌:

北京泰科诺

型号:

钙钛矿太阳能电池蒸发设备ZHDS400

关注度:

130

产品介绍

设备型号:ZHDS400

镀膜方式:金属 + 有机蒸发

真空腔室结构:SUS304 方箱式,配有前、后门

真空腔室尺寸:L400mmxW440mmxH450mm

加热温度:室温-300℃(选配)

基片台尺寸:抽屉式:220mmx220mm可旋转、升降、水冷

膜厚不均匀性:≤±5.0%(120mmx120mm范围内)

蒸发源:金属 2 组 + 有机 4 组或更多,有机配温控式加热电源,金属电源 (国产或进口)

晶振膜厚监控仪:国产或进口 多探头可选

控制方式:PLC/PC 控制 ( 可选 )

占地面积:L2500mmxW1600mmxH1900mm( 不含手套箱 )

总功率:≥ 10kW 三相五线制


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钙钛矿太阳能电池蒸发设备ZHDS400

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