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湿法刻蚀设备

湿法刻蚀设备

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盛美半导体设备(上海)股份有限公司

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产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

盛美半导体

型号:

湿法刻蚀设备

关注度:

587

产品介绍

智能工序功能 - 对于不同的金属腐蚀工艺,如铜刻蚀后再进行钛刻蚀,可预设工艺菜单与工序后,在设备中一次完成。
 

主要优势

先进的喷嘴扫描系统

精确的药液控制

药液回收使用可减少成本

专注安全性


特性和规格

兼容8寸和12寸晶圆

*多可配至4个单片腔体

*多可配至5种药液进行双面清洗工艺

*多可回收2种药液


产品咨询

湿法刻蚀设备

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