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ADDMP-1605研磨机

ADDMP-1605

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奥美(郑州)智能设备有限责任公司

河南

产品规格型号
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面议

品牌:

奥美智能

型号:

ADDMP-1605

关注度:

12

产品介绍

产品简介

该系列设备是为批量化加工而设计,采用上下盘和内外环独立驱动,具有缓速加压功能,可满足批量化加工薄脆产品,实现高精度TTV、可控制程序等功能。实现半导体衬底材料的批量双面研磨、抛光。

特点
 独立4驱
- 任意选择加工方式
- 便于修正盘型
 内部水冷却结构(CMP)
- 精准控制盘型
 铸造基体
- 结构稳定,低震动,高稳定性
 双面车刀装置(DMP)
- 自修自面,确保上下大盘**平坦度
- 节省时间,可快速调节车刀角度
 压力监测控制系统
- 为薄脆片加工提供适当的压力控制
-循环阶段阶梯式压力控制


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ADDMP-1605研磨机

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