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真空泵SDE系列

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KASHIYAMA工业株式会社

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面议

品牌:

Kashiyama

型号:

真空泵SDE系列

关注度:

2049

产品介绍

SDE系列

Apply screw type rotor with higher performance against by-product. High corrosion resistance from structural materials and temperature control.

苛刻过程应用示例

Harsh Process Application Example

Max的阵容。抽速

Lineup by Pumping Speed
**值泵送速度[升/分钟]

主要产品

规格。/产品SDE90XSDE120TXSDE200SDE303XSDE603XSDE1203TXSDE20N12TXSDE30N20SDE60N20
**值抽速
[升/分钟]*1
1,3001,5003,3005,00010,00020,00030,00050,000100,000
极限压强
[啪]*1
1.30.5
电源电压
(50/60赫兹)
三相交流200 ~ 220伏,380 ~ 480伏
功耗[kW]*21.32.82.71.51.63.23.33.7
尺寸[毫米]*3L690930900100010001080
W370400400450450515
H5015009051000950950

*1)不带N2清洗。*2)大约。极限压力下的值。*3)包装尺寸。
*联系我们了解国际标准合规性。规格。产品名称如有变更,恕不另行通知。*关于适用的气体,请联系我们。

S-P曲线

S-P Curve
* S-P曲线因组合而异。

[计]选项

Dry Pump temperature selection for each process. Select booster pump / pipe heating specification. Supplemental choice of foreline & exhaust-line against by-product. Operational status can be monitored by Centralized Monitoring System (CMS). The total exhaust system of which equipped with abatement(heater, plasma, or combustion model).


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