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品牌展台： KASHIYAMA工业株式会社

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品牌：

Kashiyama

型号：

SDL系列

关注度：

1222

产品介绍

SDL系列

Available to large size wafer & FPD. Large capacity available by combination. Larger than 150kL/min also available on demand. Shorter cycle-time. Large capacity around atm. pressure can achieve high speed pumping best for large L/L chamber.

用于溶剂排空的泵也已准备就绪

规格。/产品	SDL12E50/60	SDL20E60	SDL36E60
*值泵送速度[升/分钟]1	25,000	40,000	60,000
极限压力[Pa]*1	0.8
电源电压(50/60Hz)	三相交流200 ~ 220伏，380 ~ 480伏
尺寸[毫米]长×宽×高	1020×520×1050	1370×850×1295
质量[千克]	645	800	920

*1)不带N2清洗。
*联系我们了解国际标准合规性。规格。产品名称如有变更，恕不另行通知。

S-P Curve

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