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水平加热炉体
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青岛育豪微电子设备有限公司
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水平加热炉体
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一．产品概述：
水平加热炉体主要应用于：卧式扩散/氧化/退火炉等加热设备上的关键加热部件，根据用户具体工艺要求制作，或按照我公司设计制作，可满足用户的需求。
二．产品参数类型：
设备性能指标 | ||
1 | 结构方式 | 水平 |
2 | 控温点数 | 1-9点 |
3 | 加热炉体内径 | 150-550mm |
4 | 适用工艺 | 扩散（磷扩、硼扩）、氧化（干氧、合成）、玻璃钝化（GPP）、退火、合金、铝预沉积 |
5 | 工艺温度范围 | 600-1280℃ |
6 | 恒温区长度 | 300-3000mm |
7 | 加热炉丝线径 | 1-10mm |
8 | 加热炉丝品牌 | 北京首钢HRE/HYZ、瑞典Kanthal A-1/APM |
9 | 保温棉材料 | 摩根 陶瓷含锆纤维棉 |
10 | 外壳材质 | SUS304/铝材 |
三、产品主要特点和优势
1★炉体采用瑞典康泰尔加热炉丝，保温棉为英国摩根品牌，可长时间使用温度在1300℃以内，一年内炉体内部不会出现塌陷、断裂等问题。
2★炉体内部温度稳定性±0.5度。
