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磷化铟多晶合成炉
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青岛育豪微电子设备有限公司
山东
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育豪微电子
磷化铟多晶合成炉
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设备性能指标 | ||
1 | 操作方式 | 手动 |
2 | 管路数 | 1管 |
3 | 加工晶圆尺寸 | 4-6寸 |
4 | 适用工艺 | 多晶合成 |
5 | 工艺温度范围 | 800-1250℃ |
6 | 恒温区长度 | 300-800mm |
7 | 控温精度 | ±0.2℃/＞1280℃恒温区内 |
8 | 单点温度稳定性 | ±0.2℃ |
9 | 温度校准功能 | 具有预先写入偏差值快速拉温区功能 |
