多功能磁控离子溅射复合镀膜机TSU650

SDCOM小型衍射仪

等离子体增强化学气相沉积系统CVD

FT-3671系列全量程硅片四探针测试仪

仪器表面颗粒物分析仪（SAS）

DAGE X光检测X-plane CT(3D)分析系统

日本 Micro-tec ESC-500 静电夹具专用丝网印刷机 半导体静电卡盘用

SSB300系列步进光刻机

ELEDE® 380G+/G380C刻蚀机

Elionix离子束刻蚀系统

OAI Model 212紫外光刻机

生产型磁控溅射设备—MSI-100-HV

NanoMaster SWC-4000型CMP后清洗机

微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 —— A型

LPCVD 低压化学气相沉积设备

无掩膜曝光机,激光直写

CDM测试机HEDC5000R

喷射化学气相沉积设备(Spray CVD)

正业LED自动编带机

4900/5700型电子束蒸发镀膜系统

半导体晶圆膜厚检测仪

磁控溅射沉积设备

全自动芯片分选系统

WG-1230自动减薄机