内部电极  

嵌入在绝缘体内部的正/负极，通过施加电压来产生静电力。  

加热机制（根据需要）  

为控制晶圆的温度，会内置加热器。

Micro-tec ESC-500 是专为半导体静电卡盘 ESC 制造开发的专用精密丝网印刷设备，适配MAX 12 英寸陶瓷基板制程，用于静电卡盘内部电极层、介质浆料图形的精密印刷成型。 设备搭载静电吸附工作台，依靠正负电压施加产生静电力固定陶瓷基材；标配双向离模机构，刮刀行进速度、刮刀下压量、工作台吸附力均可独立调节并存储为工艺配方，方便多批次生产复现。可选配基板加热模块，满足特定浆料的温控印刷需求；整机采用洁净钣金设计，适配半导体洁净车间环境，可稳定完成导电浆料、介电浆料的微图形印刷，是静电卡盘核心电极成型工序的专用设备。 主要用于半导体静电吸盘（ESC）、微电子精密陶瓷元件的电极图形制作，适配半导体装备核心零部件的中试与量产制程。

【规格】

・打印范围：适用于12英寸

·双向启停机构

・滑板速度可调节（可通过配方设置）

・刮刀压紧力度可调节（可通过配方设置）

・工作台吸力可调节（可通过配方设置）

? 产品特点专为半导体静电卡盘 ESC 电极印刷定制面向静电吸盘内部导电电极、介电层浆料成型开发，匹配 ESC 核心层结构制造工艺。静电吸附工作台，降低基板夹持损伤采用静电吸附固定陶瓷基板，无机械夹边应力，减少薄型陶瓷基板形变、崩边风险。双向离模结构，保障薄浆层印刷均匀性可控双向离模动作，抑制浆料拉丝、图案变形，提升电极薄膜厚度与图形一致性。全参数配方管理，工艺可复现刮刀速度、下压量、吸附压力等参数可保存为多套配方，便于换型、量产工艺稳定管控。可选基板加热模块，适配热敏浆料选配内置加热机构，可管控基板温度，适配不同粘度、固化特性的导电 / 介电浆料。洁净型整机设计，适配半导体产线环境封闭式防尘柜体，适配洁净车间部署，降低印刷环节异物污染，满足半导体零部件质控要求。