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IDONUS,荫罩掩膜对准器,Shadow Mask Aligner

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皕赫科学仪器(上海)有限公司

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产品介绍

荫罩掩膜对准器 Shadow Mask Aligner

设备简介:

本设备可以用于精确和可重建性的对准荫罩掩膜和晶圆。可以放于真空腔体用于PVD工艺。沉积后,夹盘可以打开,晶圆和掩膜可以不破坏的分离,并且掩膜板可以重复利用。

夹盘可以用于任何基底尺寸以满足用户的要求,并且我们也可以提供精确和经济的由金属、硅、玻璃、陶瓷等制造的荫罩掩膜。

产品型号:SMA-100,SMA-150,SMA-200

晶圆和荫罩尺寸:100mm,150mm,200mm,取决于设备的配置

样品台特征:

X和Y方向范围:步进10μm,灵敏度2μm

Z方向范围:步进10μm,灵敏度2μm

旋转角度:360°不间断

倾斜:工厂校准,工程师手动调节

对准精度(溅射后)

线性对准:典型值6μm, ZUI大值10μm

旋转对准:0.001°到0.009°

夹盘

晶圆尺寸:100mm,150mm,200mm

夹盘材料:阳极氧化铝或非阳极氧化铝

夹盘厚度:20mm取决于晶圆和掩膜的厚度

荫罩掩膜(客户可定制荫罩掩膜)

材料:硅、石英、玻璃、金属、陶瓷

仪器尺寸:500mm x 250mm

安装需求:用于对准过程中用来观察的显微镜、真空

注:可以根据用户的需求进行定制。

优点:

精确和可重建性的PVD涂层构建

用于PVD的减震夹盘

易用、对晶圆无损夹持机构

由于真空夹持,可以在对准的过程简单操作

可以用于不同的晶圆尺寸

不需要安装

低运行成本

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