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SENperc PV 是PERC电池制造质量控制的创新解决方案。SENperc PV 测量Al2O3/SiNx堆叠层和用于钝化PERC电池的单层膜。监测沉积过程的稳定性。由此,可以优化维护时间间隔。
多晶硅和C-Si基太阳能电池的质量控制解决方案
SENperc PV是为PERC太阳能电池制造质量控制而设计的。它测量SiO2、Al2O3和SiNX单层膜和叠层膜,这些单层膜和叠层膜用于PERC电池(多晶硅衬底和c-Si衬底)的正面反射和背面钝化。对沉积过程的稳定性进行长时间的监测。由此,优化了维护时间间隔。
Al2O3和SiNx薄膜的厚度和折射率指数测量
SENperc PV 配备了基于配方的用于质量控制按钮操作。在样品台上放置一个PERC电池,涂有涂层的背面朝下以控制钝化层。晶体硅太阳能电池插入到一个特殊的晶片架来分析防反射涂层。不需要对准。杂散光不影响测量。测量到的厚度和折射率指数被保存到SQL数据库中。
SiO2、Al2O3和SiNx沉积的长期稳定性监测
统计制程控制(SPC)被应用于PERC太阳能电池的评估。预置范围应用于良率分析。向操作人员提供直接和长期的反馈,以便立即进行干预。SQL数据库在本地以及通过LAN可访问,以支持电池跟踪和良率分析。除了按钮操作之外,SENpercPV还配备了强大的软件接口,用于新配方的研发。