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全自动单轴减薄机 IVG-2040
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北京特思迪半导体设备有限公司
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全自动单轴减薄机 IVG-2040
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全自动单轴减薄机适用于4-12英寸晶圆的研削，配置机械手上下片，并集成自动对中、清洗、干燥功能，配置自动厚度测量和补偿系统，可实现晶圆盒到盒、干进干出的全自动研削加工。
IVG-2040IVG-3040
**晶圆尺寸8英寸
砂轮规格Ø203(OD)mm
砂轮轴功率6.0 kw
半自动晶圆刷洗机 TSC-100
全自动晶圆刷洗机 TSC-150C
化学机械抛光机 TMP-150A
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全自动化学机械抛光机
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