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硅单晶晶片定向仪
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硅单晶晶片定向仪
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DX-7A型硅单晶晶片定向仪(7AC型7AS型7AZ型)
功能：该仪器主要用于测定切割后的硅单晶晶片表面及参考面的角度，也可用于测定其它种类单晶材料的晶片。仪器配有吸气泵。可测定直径为 3-8 英寸的晶片，测定晶面为 100 、 110 、 111 、 210 等。该仪器为双工作台，可同时完成相同任务，也可分别测定晶片表面和参考面，根据用户需要配置。
技术参数：
项目 | 参 数 |
输入电源 | 单相交流220V，50Hz，0.3KW. |
大管电压 | 30kV |
管电流 | 0-5mA连续可调 |
接收器 | 盖革计数器，工作电压高为DC1050V |
X射线管 | 铜靶，风扇冷却，阳极接地。 |
测定角度 | 2θ=－10～120°，θ=－5～60°。 |
综合精度 | ±30″（用标准石英片10ī1面测量） |
小读数 | 1″ |
外形尺寸 | 1290（长）x772（宽）x1300（高）mm |
仪器重量 | 300kg。 |
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