半导体行业专用仪器-PD-VCD真空闪蒸仪-武汉普迪真空科技有限公司-产品详情

PD-VCD真空闪蒸仪

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武汉普迪真空科技有限公司

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品牌：

普迪真空

型号：

PD-VCD真空闪蒸仪

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产品介绍

产品摘要

VCD真空闪蒸仪一款一键式操作的桌面型设备，设备整体放置于手套箱内，腔体内部设有独特气气流导向结构与样品支撑，可实现快速抽真空，有利于有机溶剂快速挥发，辅助成膜结晶，对各种基板涂敷材料进行快速真空干燥、溶剂挥发，具有稳定性高、均匀性好、操作便利等优点。

产品介绍

设备特点：

★真空测量采用数字式全量程真空规管。控制系统采用触摸屏设置参数，一键式操作。

★内部样品托盘采用可拆卸式，配备吸气环方便玻璃基片放置；在放置柔性基片和硅片时可采用吸气板式托盘。

★腔体顶部设置DN100视窗，便于观察样品处理过程。

设备参数：

★样品尺寸：210mm×210mm/300mm×300mm

600mm×600mm/600×1200mm **厚度30mm

★极限真空：0.1Pa

★抽空时间：10秒至5Pa

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PD-VCD真空闪蒸仪

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