氧（O₂）含量（体积分数）/10^-2≥

99.5

99.2

水（H₂O）

无游离水

纯氧

高纯氧

超纯氧

氧（O₂）纯度（体积分数）/10^-2≥

99.995

99.999

99.999 9

氢（H₂）含量（体积分数）/10^-6≤

1

0.5

0.1

氩（Ar）含量（体积分数）/10^-6≤

10

2

0.2

氮（N₂）含量（体积分数）/10^-6≤

20

5

0.1

二氧化碳（CO₂）含量（体积分数）/10^-6≤

1

0.5

0.1

总烃含量（体积分数）（以甲烷计）/10^-6≤

2

0.5

0.1

水分（H₂O）含量（体积分数）/10^-6≤

3

2

0.5