纯氩

高纯氢

氩（Ar）纯度（体积分数）/10^-2≥

99.999

99.999

氢（H₂）含量（体积分数）/10^-6≤

0.5

5

氧（O₂）含量（体积分数）/10^-6≤

1.5

10

氮（N₂）含量（体积分数）/10^-6≤

4

50

甲烷（CH₄）含量（体积分数）/10^-6≤

0.4

5

一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10^-6≤

0.3

5

二氧化碳（CO₂）含量（体积分数）/10^-6≤

0.3

10

水分（H₂O）含量（体积分数）/10^-6≤

3

15

注：液态氩不检测水分含量。