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iGrapher 大型紫外直写光刻系统

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苏州苏大维格科技集团股份有限公司

江苏

产品规格型号
参考报价：

面议

品牌：

苏大维格

型号：

iGrapher 大型紫外直写光刻系统

关注度：

206

产品介绍

技术特点

  • 采用DPSSL 355nm光源

  • 支持8-130英寸幅面

  • 超高精密系统

  • 高精度环控系统

  • 主动式隔振系统

  • 高精度气浮运动平台

  • 高速图形化

  • 频闪平铺光斑曝光

  • 3D导航自动聚焦

规格参数

* 具体指标因工艺差异有所不同

 

应用示例


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