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日本 SEM 坂本电机 SELN‑001B 有线双轴精密数字水平仪 半导体倾角

SELN‑001B

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深圳森泽工业品有限公司

日本

产品规格型号
参考报价:

1万元以下

品牌:

日本 SEM 坂本电机

型号:

SELN‑001B

关注度:

282

范围(量程或细度):

0-0.05

创新点:

±0.001° 超高重复精度,微米级倾斜管控,适配半导体产线严苛要求

产品介绍

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这款双轴数字水平仪(有线连接)具有极高的精度,同时重量也很轻。与普通水平仪相比,其数字显示屏使得现场调整工作更加便捷。此外,显示屏与水平传感器通过线路相连,因此可以从远处进行测量。由于重量轻,它可以在处理晶圆的敏感区域进行使用。屏幕上会显示气泡图,这样就可以像使用传统气泡水平仪一样进行调整。数字显示屏还能避免不同操作人员带来的测量误差。


功能特点

01 X轴和Y轴的角精度为±0.001度(17.5微弧度/米)

02 可用于对垂直间距较小的区域进行层级观测

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03 可以立即读取测量结果,且不存在读取误差

04 可同时进行两轴调整,因此即便是初学者也能轻松完成水平校正工作

05 为水平度检测设定一个合适的范围,就能让即使是初学者也能轻松完成水平度调整工作


监控详情

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规格

传感器部分线性 - 角度X方向:±0.3度  Y方向:±0.3度
测量分辨率0.0002度
零重复性低于±0.001度
响应速度低于50ms
工作温度-10℃~+50℃
身体部位微控制器32位
A/D部分14位
测量范围±0.3度
A/D分辨率0.000025度
显示单元0.0001度
通过范围设置范围0.0001度
范围切换0.01/ 0.001/ 0.0001
OVER显示0.3度或以上
功能传感器连接数量1个ch
显示部分4.3英寸彩色LCD触摸屏
480 x 272点
电源
专用交流适配器,DC6V/2A
4节AA干电池(1.5V)
尺寸监控器W96×D36×H145mm
传感器(SUS材质基座)φ50×H19mm
电缆2m
重量监控器392g
传感器70g
配件
AA干电池(1.5伏),4节。
专用交流适配器,DC6V/2A
使用手册
保修


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SELN‑001B

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