突破微米禁区：抗EUV润滑脂——极紫外光刻机中的“隐形守护者”在半导体制造工艺走向2纳米甚至更先进制程的今天，极紫外（EUV）光刻机无疑是人类精密制造史上的皇冠明珠。人们往往将目光投向它复杂的反射镜系统、高功率的二氧化碳激光器，或是精确到皮米级的真空工件台。然而，在这台价值数亿美元的设备内部，有一个同样决定着芯片良率、却鲜为人知的特殊材料领域——抗EUV润滑脂（EUV-Compatible Gre

迈向半导体制造的“极端耐受”：抗等离子清洗润滑脂的关键技术与应用在现代半导体制造、平板显示（FPD）及精密光电仪器的生产过程中，等离子清洗（Plasma Cleaning）与等离子体刻蚀（Plasma Etching）是不可或缺的核心工艺。它们利用高能等离子体轰击工件表面，以达到原子级的清洁与表面改性。然而，这种极端的物理与化学环境，却成了真空腔体内部机械传动部件（如真空机械手、线性导轨、滚珠丝杠

芯片制造的“隐形护卫”：浅析抗光刻胶溶剂润滑脂的硬核科技在半导体制造的微观世界里，光刻机（Lithography）无疑是那颗最耀眼的明珠。当人们把目光聚焦在阿斯麦（ASML）的极紫外光（EUV）光源、蔡司的双工件台和复杂的物镜系统时，往往会忽略掉一些默默无闻却又至关重要的“幕后功臣”。今天，我们就来聊聊半导体设备中必不可少、技术壁垒极高的特种化学品——抗光刻胶溶剂润滑脂。一、 为什么普通润滑脂在光

抗极紫外（EUV）光润滑脂的研发与应用场景半导体芯片制造步入先进制程的今天，极紫外（EUV）光刻机已成为人类科技的核心基石。EUV 光刻机利用波长仅为 13.5 纳米的极紫外光，在硅片上雕刻出极其微细的电路图案。然而，在这种极致的微观环境中，机器内部的高精尖运动部件（如工件台、轴承、导轨等）面临着前所未有的严苛工况。传统的工业润滑脂在这种极端条件下会迅速失效。为了保证光刻机在高速、高精度运行中不卡

背景介绍乙炔（C2H2）是合成聚氯乙烯（PVC）、1,4-丁二醇（BDO）和醋酸乙烯酯等大宗化学品的关键基础原料，工业乙炔通常通过天然气部分氧化或烃类热裂解生产，其过程不可避免地伴随二氧化碳（CO2）杂质。由于两种气体在分子尺寸（C2H2为3.3×3.3×5.7 Å，CO2为3.2×3.3×5.4 Å）和沸点（C2H2为189.4 K，CO2为194.7 K）上高度相似，C2H2/CO2的分离面临

2026 年 7 月 28 日，《财富》世界 500 强榜单正式发布。榜单显示，高服机械客户中共有53家企业入选，覆盖能源、石化、冶金、矿业、建材、工程建设、装备制造、医药、食品饮料及消费品等多个重点行业，充分体现了高服机械服务大型工业企业、助力产业链高质量发展的综合实力。从排名情况看，高服机械客户在本届榜单中表现亮眼，排名区间覆盖第10位至第491位。其中，14家企业进入世界500强前100名，

粉体经过行星球磨机研磨细化之后，很多测试表征都需要先压制成致密样片：红外KBr 测试、XRF 荧光分析、锂电固态电解质片、陶瓷素坯、矿物试样等，压片机就是粉体成型环节的核心设备。很多科研人不了解压片机分类、压力、保压、泄压等关键工艺，经常遇到样片开裂、分层、掉渣、密度不均，导致后续测试失败。本文深度拆解实验室压片机，从原理、机型分类、应用场景、标准操作、常见故障一次性讲清楚。01一、压片机工作原理

你有没有遇到过这种情况：样品对氧、水极敏感，球磨罐得抽到10⁻⁵ Pa这种超高真空才能磨；可无论怎么抽、怎么烘烤，真空度就是卡在 10⁻³ Pa上不去，漏率也压不下去——样品磨完还是发黑、氧化。如果排除操作和粉末问题，十有八九，是密封方案和罐体本身，没达到超高真空的门槛。10⁻⁵ Pa超高真空，为什么橡胶圈封不住超高真空（UHV，通常指≤10⁻⁵Pa）对密封的要求，和"一般抽个真空&qu

美国中西部一家大型维生素生产商将其除尘器中的滤筒更换为唐纳森 Ultra-Web®滤筒后，滤筒使用寿命已从9天延长至超过75天。在这家美国中西部大型维生素生产商的生产现场，包衣机产生了大量粒径为0.5mm的粉尘，维护团队不得不每9天更换一次除尘器滤筒。尽管现场使用的唐纳森Downflo®II（DFT）和Downflo Oval（DFO）除尘器均配有脉冲喷吹自清洁功能，但客户安装的非唐纳森滤筒采用的

介绍本文隶属于不溶性微粒应用专题，全文共 3645字，阅读大约需要 11 分钟引言：提起输液，很多人都不陌生。过去遇到感冒发烧，不少人会主动要求“输点液，好得快些”。2009 年前后的统计显示，我国年人均输液量一度达到 8 瓶左右，而国际平均水平约为 2.5～3.3 瓶[1][2]。近些年，国内多地陆续收紧门诊输液：安徽率先公布了无需输液治疗的常见病清单，江苏自 2016 年 7 月起叫停二级以上

净气室干净，粉尘排放为何突然飙升？一、案例概况图1净气室洁净，没有明显积灰、破袋痕迹某项目袋式除尘器稳定运行约1年后，在线监测粉尘排放浓度突然升高。运维人员第一时间开展离线仓室排查，逐仓打开净气室检查，净气室内壁洁净，滤袋表面没有明显积灰、破袋痕迹，初步排除滤袋破损、袋口脱落这类常见故障。图2锅炉清灰时，出口粉尘浓度同步上升波动持续观察运行数据发现一个关键特征：出口粉尘浓度跟随入口粉尘浓度同步升降

生产线淡季、订单暂停、设备搬迁等场景下，三辊机、真空搅拌机、真空脱泡机常会长期停机封存。露天放置、简单遮盖会导致金属部件锈蚀、辊筒氧化、轴承卡滞、电控受潮，再次启用时故障频发。本文梳理停机超 3 个月的标准化封存保管流程，分清洁、防护、封存、巡检四大环节。一、停机前深度清洁（封存基础）物料彻底清理：清空设备内部所有浆料、粉体、胶料，使用对应溶剂 / 清水清洗辊筒、搅拌桨、料桶、管路，无残留干结物料

钛白粉水解、结晶形貌管控二氧化钛俗称钛白粉。作为一种多晶型化合物，二氧化钛优良的光学性能来自其特定的晶型结构，具体结晶形态有板钛型、锐钛型和金红石型三种。板钛晶型属斜方晶系，十分不稳定，当温度高于650℃时会转变为金红石晶型，其通常只存在于自然矿石中，工业价值也不大。锐钛晶型在温度低于165℃时，比较稳定，但当温度超过730℃时，锐钛晶型开始迅速向金红石晶型转化，锐钛型二氧化钛具有极好的光催化效果

我们是鹏翼，干湿法研磨这一行有些年头了。经常有涂料厂的老板或工程师来问：你们那套汽车漆生产线，到底能把漆做到什么程度？你们那个砂磨机，凭什么说能磨好最难啃的炭黑和透明氧化铁？今天不背参数，也不喊口号。就想借这个机会，把我们在设计、制造、调试中真正花了心思的地方摊开来说一说。这些点，也许恰好就是你产线上正头疼的问题。设计生产线的时候，我们最先想到的是人汽车漆车间，最金贵的是什么？是配方稳定性，也是操

无机颜料——钛白粉、氧化铁系、铬黄这些——成品的遮盖力、着色力和分散性好不好，说到底就看粒度够不够细、分布够不够匀。可这类粉体普遍又硬又爱抱团，传统研磨设备常卡在三个老毛病上：效率低、容易返粗、一磨就升温变色。鹏翼智能的砂磨机和定制化生产线，就是冲着这些工艺难点去的，如今在钛白粉、氧化铁红、铬黄、水性色浆这些无机颜料产线上用得不少。无机颜料研磨，到底难在哪儿干过颜料生产的人都明白，这行的难点远不止

近年来，压电材料持续受到科研领域关注。从超声成像、精密传感，到机械能采集、催化反应和生物医学，压电材料正在不断拓展应用边界。随着无铅化、纳米结构设计和多功能复合材料研究的深入，如何选择合适的压电材料，也成为科研工作中的重要问题。今天，小丰从压电效应出发，梳理压电材料的研究热点，并结合常见材料体系，聊聊不同研究方向该如何选材。一、压电材料为什么值得关注？压电材料是指具有压电效应的一类功能材料，能够实

碳点（Carbon Dots，CDs）是一类尺寸通常小于10nm的零维碳基纳米材料，具有良好的水分散性、可调发光特性、较低的毒性以及较好的生物相容性，因此被广泛应用于荧光检测、生物成像、光催化和光电器件等领域。近年来，一类更加特殊的碳点逐渐受到关注——长余辉碳点（Afterglow Carbon Dots）。与普通荧光碳点“有光激发才发光”的特点不同，长余辉碳点最大的特色就是：停止光照之后，依然能

在半导体行业，对纳米结构进行精确表征对于确保器件性能和可靠性至关重要。在众多关键参数中，线边缘粗糙度（LER）和线宽粗糙度（LWR）在工艺控制中起着至关重要的作用。扫描电子显微镜 (SEM) 被广泛用于检测这些差异，但有效利用 SEM 图像需要先进的分析工具。Mountains® 软件提供了一种专用解决方案，可进行精确、自动化且稳健的 LER 测量，确保无论加速电压等成像条件如何，都能获得可靠的结

导体产业是当今现代科技发展的驱动力，它依赖于毫不妥协的计量精度。器件的质量和性能与纳米结构关键尺寸（CD）的测量和分析精度密切相关。在此背景下，原子力显微镜 (AFM) 已成为一项不可或缺的技术，能够提供纳米尺度下表面形貌的详细信息。然而，要充分利用 AFM 数据，需要功能强大且适配的软件，将原始数据转化为可操作的洞察。Digital Surf 的 Mountains® 软件正是为此而生，它为半导

光电子领域的工业界和研究机构的主要关注点在于不断提高器件性能、改进工艺和降低成本。Digital Surf 的合作伙伴 Attolight（位于瑞士洛桑）专注于一种名为“定量阴极发光”或定量 CL 的创新型高光谱技术，能够在传统光谱技术达到其极限的情况下快速生成有价值的数据。这项技术使用户能够快速高效地分析薄膜和光电器件。这对于识别工艺和材料缺陷、进行质量控制以及加速新制造工艺或新产品的推出尤为有