MAIA3是新开发的分析用扫描电子显微镜，它可以得到在15kV下1nm的超高分辨率。采用二次电子信号，在1kV下分辨率为1.4nm。此型号电镜配备肖特基场发射电子枪，以及TESCAN先进的三透镜电子光学系统。

相比于常规物镜，它采用了TESCAN独特构造的60度磁浸没物镜，它能显著地减小光学像差，在低电压下依然有着超高的分辨率。另外，添加的中磁透镜可以和物镜同时使用或者代替物镜观察，以提供多种显示模式。

*重要的特性：

u  具有非凡分辨率的单极60度角物镜；

u  无场模式用于磁性样品的观察；

u  高亮度肖特基电子枪可得到高分辨率/高束流/低噪声的图像；

u  镜筒中的In-Beam二次电子探测器用于小工作距离条件下二次电子的检测；

u  独有的三透镜大视野观察设计，提供了多种工作模式和显示模式，体现了TESCAN专有中间透镜（IML）的功能；

u  实时电子束追踪技术，可模拟和进行束斑优化，包括直接和连续控制电子束束斑和束流大小；

u  电子束减速模式在低电压下获取优秀的分辨率(选配)；

u  In-Beam背散射电子探测器用于小工作距离的背散射电子成像；

u  成像速度快；

u  高通量大面积自动化，例如自动颗粒分布和分析；

u  计算机优化、马达驱动的样品台；

u  利于EDX、EBSD分析的理想几何设计；

u  由于使用了强力的涡沦分子泵和机械泵，因而可以快速简单得到干净的真空样品室；电子枪的真空度由离子泵来维持；

u  包括电子光学设置和校准的全自动显微镜设置；

u  完善的软件用于SEM控制，图像采集、存档、处理和分析；多用户多语言操作界面；

u  网络操作和内置的远程控制/诊断是TESCAN的标准配置；

u  独特的3维电子束技术用于获得实时立体图像。