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MDPspot单点寿命检测仪

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弗莱贝格仪器(上海)有限公司

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产品介绍

桌面单点测量

低成本的台式少子寿命测量系统,对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。没有内置自动化。可选配手动z轴,用于厚度在156毫米以下的晶锭。

MDPspot可配电阻率测试选项。仅适用于硅,用于晶圆片,也可用于晶锭。

结果可视化的标准软件。

特性

无接触和非破坏的电学参数测试

对外延工艺监控和不可见缺陷检测,具有可视化测试的**分辨率

对于不同级别晶圆片,提供不同的菜单选项

优势

用于不同制备阶段,从成体到*终器件,多晶硅或单晶硅单点测量载流子寿命的台式装置。

体积小,成本低,使用方便。拥有一个基本的软件,结果可视化。

适用于晶圆片到晶锭,易于高度调整。

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MDPspot单点寿命检测仪

弗莱贝格仪器(上海)有限公司

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