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光谱反射仪(SR)系列是一款相对较低成本和操作简单的工具。
SR 系列特征:
简单易操作
**系统性能基于先进的光学设计
基于阵列的探测器系统保证快速测量
测量薄膜厚度和折射率可达5层
允许在毫秒内获得反射、透射和吸收光谱
可用于实时或在线厚度,折射率的监测
系统具有全面的光学常数数据库
先进的TFprobe软件允许用户使用NK表、分散或有效介质近似(EMA)每个单独的膜。
可升级到MSP(显微分光光度计)系统,SRM映射系统,多通道系统,大点的·直接测量图案或功能结构
适用于多种不同厚度的基材
各种附件可用于特殊配置,如运行曲线测量曲面
2D和3D输出图形和用户友好的数据管理接口
光谱反射仪型号:
SR100 | SR300 | SR500 |