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射频离子/原子源(可转换)

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科睿设备有限公司

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425

产品介绍

器简介:射频离子源:用于离子束沉积,离子束辅助沉积,MEMS

射频原子源:用于合成氧化物,氮化物,氢原子清洗

技术参数:

射频离子源

安装法兰口径:NW63CF,NW100CF

真空腔体内长度:290mm

真空腔体内端面直径:57mm, 96mm

兼容气体:O2, N2, H2, Ar

水冷

射频功率:30-600W

气体流量:8-10sccm

束流能量:0.1-1kev

电流密度:可大到5mA/cm2

射频原子源

安装法兰口径:NW35CF,NW63CF,NW100CF

真空腔体内长度:290mm

真空腔体内端面直径:34mm,57mm, 96mm

兼容气体:O2, N2, H2, CH4

水冷

射频功率:30-600W

气体流量:0.01-20sccm

主要特点:

无灯丝

安装容易,可方便地安装在已有系统上

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射频离子/原子源(可转换)

科睿设备有限公司

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