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微波等离子设备

微波等离子设备

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南京三乐微波技术发展有限公司

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品牌:

三乐微波

型号:

微波等离子设备

关注度:

542

产品介绍

一、装备介绍


  微波等离子体设备是在常压或低真空情况下,通过微波等离子发生器对反应腔内工艺气体,施加微波电磁能量,使气体产生等离子体,对气体进行热解和高度电离,同时特殊气体经过等离子电离后,利用等离子的特性,作用于产品表面,提高表面活性,增加附着性能的目的。微波等离子体设备操作简单、安全可靠、自动化程度较高。


二、特点


1、一定条件下,能使尾气高度电离和离解,设备安全可靠;

2、等离子设备气压范围内较宽,可获得气体的等离子化;

3、无内部电极,消除气体污染和电极腐蚀;

4、气体微波等离子体化产生不带高压,微波辐射易防护;

5、设备自动点火,操作简单、安全可靠;

6、气体参数变化范围较大,为广泛应用提供可能性。


三、应用


1、微波等离子火炬技术,应用于工业尾气的处理,及材料高温烧结;

2、微波等离子体化学气相沉积(MPECVD):制备单晶、多晶金刚石,制备SiC、宝石、切削刀具等;


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