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第三代半导体外延设备

第三代半导体外延设备

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深圳新益昌海威真空设备有限公司

广东

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品牌:

新益昌海威

型号:

第三代半导体外延设备

关注度:

50

产品介绍

第三代半导体外延设备

机型:QDE系列

外延设单腔/多片(**3×8Inch)+洁净真空机械手搬运, •各盘独立控温,控温精度高; •水平层流布气+分子泵排气,控制气体分布均匀; •工艺进程实时监控,精准控制参数;


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