半导体行业专用仪器-方腔式电子束蒸发镀膜设备-北京创世杰科技发展有限公司-产品详情

方腔式电子束蒸发镀膜设备

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品牌：

创世杰

型号：

方腔式电子束蒸发镀膜设备

关注度：

345

产品介绍

FC-3800和FC-4400是适用于洁净室的、真空锁结构的系统，专门面向lift-off工艺的大生产应用。这些镀膜机为连续高效的运行而设计，并提供高均匀性的薄膜沉积。FC-3800的源基间距为34”（965mm），而FC-4400的源基间距为42”（1067mm）。这两款系统都可配置成独立机台或穿墙式洁净室安装，也都支持镀膜源、材料进给、加热、清洗等附件的各种组合。

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方腔式电子束蒸发镀膜设备

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