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方腔式电子束蒸发镀膜设备

方腔式电子束蒸发镀膜设备

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北京创世杰科技发展有限公司

北京

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品牌:

创世杰

型号:

方腔式电子束蒸发镀膜设备

关注度:

439

产品介绍

FC-3800和FC-4400是适用于洁净室的、真空锁结构的系统,专门面向lift-off工艺的大生产应用。这些镀膜机为连续高效的运行而设计,并提供高均匀性的薄膜沉积。FC-3800的源基间距为34”(965mm),而FC-4400的源基间距为42”(1067mm)。这两款系统都可配置成独立机台或穿墙式洁净室安装,也都支持镀膜源、材料进给、加热、清洗等附件的各种组合。

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