粉体行业在线展览
电子回旋共振等离子体(ECR)系统
面议
成都华宇
电子回旋共振等离子体(ECR)系统
418
性能特点:
֍具有无热阴极、电离度高的特点 ֍具有可忽略放电室壁的散射的特性 ֍能在低真空度下工作 ֍设备性能稳定,使用寿命长 |
主要技术参数:
微波源输出功率 | 260W - 1500W |
极限真空度 | ≤5×10-5Pa·m3/s |
气体质量流量控制 | 多路 |
工作气压 | 1Pa - 200Pa |
磁场强度 | 0 - 1000高斯可调 |
偏压 | 0V - 300V |
MPCVD设备培育的CVD晶种
高稳定程控微波源
高稳定程控微波源、微波传输系统
微波等离子体火炬(MPT)
微波等离子体源
电子回旋共振等离子体(ECR)系统
微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统 —— C型
微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统B型
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