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抛物面环形天线微波等离子体沉积系统

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杭州晶驰机电科技有限公司

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品牌:

杭州晶驰

型号:

抛物面环形天线微波等离子体沉积系统

关注度:

194

产品介绍

该设备为微波等离子化学气相沉积系统(MWCVD)。采用2.45GHz频率微波源,激发稳定的等离子体。电场激发模式为TM021模式,该系统可以稳定生长金刚石单晶材料、多晶晶圆。

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