粉体行业在线展览
抛物面环形天线微波等离子体沉积系统
面议
杭州晶驰
抛物面环形天线微波等离子体沉积系统
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该设备为微波等离子化学气相沉积系统(MWCVD)。采用2.45GHz频率微波源,激发稳定的等离子体。电场激发模式为TM021模式,该系统可以稳定生长金刚石单晶材料、多晶晶圆。
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