晶片尺寸

12吋、兼容8吋

设备配置

2C2D、4C、4D

设备产能

依工艺条件而定 （伺服电机完全可满足ARM转送速度要求）

衬底材质

Si、Glass、Sapphire、GaAs、 InP、GaN、SiC等

适用工艺

G-line、i-line、 Pl

应用领域

功率器件、光通讯、科研、 LED、射频集成、 MEMS等

显影电机

**转速6000rpm、**加速度3000rpm、精度±1rpm 、水冷

流量计

按客户工艺要求选配

控制系统

工控机、 17“触摸屏 （可按客户需求配置）

操作系统

WINDOWS、图形化人机界面、可编程

通讯与信息化

以太网、配有SECS/GEM适配模块、提供现场通讯对接

厂务

标配水、电、气、液I/O接口