粉体行业在线展览
热法沉积系统
面议
原速光电
热法沉积系统
1392
衬底尺寸:标准尺寸:200mm Dia (8 inch)(可定制)
工艺温度:温度范围:RT~500°C (可定制)
前驱体路数:**支持6路前驱体气路(可定制),包含固、液态前驱体源瓶
加热系统:可加热温度范围:RT~150℃
反应物路数:支持2路反应物气路(可定制)
载气:标准:N2, MFC 流量控制(可定制)
压力监测:双薄膜规组合(耐腐蚀),0.005Torr - 1000Torr
本底真空度:<5x10-3 Torr
真空系统:标准油泵
控制系统:19寸显示器,支持触控工业级嵌入式工控机,高可靠性,支持扩展
操作系统:Win7 操作系统工业级可编程逻辑控制器,支持现场总线与实时多任务处理操作
高温加热模块:独立的源瓶加热模块,可支持RT~200℃
预留模块:预留等离子体系统接口,无需更换腔体即可直接升级至等离子体系统(PEALD),实现Thermal-ALD与PEALD的双模式切换
可沉积薄膜种类和应用场景包括:
• High-K介电材料 (Al2O3, H2O, ZrO2, PrA1Q, Ta205, La2O3);
• 金屬互联结构 (Cu, WN, TaN, Ru, In);
• 催化材料 (Pt, Ir, Co, TiO2):
• 生物医学涂层 (TiN, ZrN, TiAIN, AlTIN);
•金厲(Ru, Pd, Ir Pt, Rh, Co, Cu, Fe, Ni;
• 压电层 (ZnO, AIN, ZnS);
• 透明电学导体 (ZnO:Al, ITO);
• 光子晶体(ZnO, Ti02, Ta3N5);等
•框架采用进口铝材搭建,重量轻、承载能力强,散热性好
•外壳采用碳钢烤漆及圆角处理,轻便美观,拆卸方便,符合人体工学
•显示屏360度自由旋转,可调视距、视角、自由悬停
• 控制系统采用 PLC+工控机+19 寸触摸屏方式实现,系统通过高速以太网进行通讯。
• 采用 PLC 对设备进行实时控制,同时实现基于Windows7 操作系统的人机界面互动,支持历史数据、工艺配方、报警及日志的储存和导入导出的功能
• 设备支持“一键沉积”功能,点击运行按键即可自动完成真空抽取、升温、材料沉积、降温等一系列步骤。实现单一或多层材料的沉积;提供独立的手动操作页面,支持手动开关阀门的操作,人机交互同时支持鼠标、键盘和触摸的输入方式
• 设备运行软件提供用户权限管理功能,可根据用户级别设定使用权限,防止误操作,保证设备和人身安全
• 设备运行软件提供逻辑互锁功能,防止用户误操作,并弹出信息对话框进行提示
• 设备运行软件集成安全及参数配置、IO互锁列表信息功能
· 真空测量采用双真空压力计组合方式,工艺数据更真实,更迅速,更精确,为工艺人员提供井真的数据采集来源,为工艺的可重复性提供了可靠的保障
LHTG/LHTM/LHTW
Empyrean
V-Sorb4800-金埃谱
EMIA-820V
Hydrolink
Autoflex R837
3H-2000A
SQL810C/1010C
UNI800B
电磁波波谱浓度仪
略