Thermo Scientifific™ Apreo SEM 具有*广泛地适用性，可以 在*短时间内为材料研究人员提供**的成像质量。 当 Apreo 的电子束打开，形貌和成分衬度可以同时被镜筒内探 测系统呈现：无需繁琐操作，即可快速探索并获取样品各方面 信息。在高放大倍率下，Apreo 的长工作距离（如 10mm 分析 工作距离）也能表现出杰出的分辨性能。即使在绝缘、电子束敏 感或磁性的材料上，Apreo的用户界面也可以高效地引导操作者 获得表征该纳米结构的**参数条件。 Apreo 能在短时间内 解决错综复杂的研究问题，适用于需要多功能以及多用户操作 的应用场合。 Apreo 是研究纳米颗粒、催化剂、粉末和纳米器件的理想平台， 其创新的末级透镜设计，丝毫不会降低对磁性样品的分辨能 力。 静电式末级透镜（Apreo C 和 Apreo S）能够实现镜筒内 多种信号的同时探测和高分辨率，而 Apreo S 则结合静电、浸 没式磁场的复合透镜以进一步提高低电压下的分辨率，在 1 kV  加速电压下的分辨率为 1.0 nm，不需要电子束减速。通过将浸 没式磁透镜和静电透镜组合还可以实现特有的信号过滤功能。 Apreo 拥有透镜内背散射探测器 T1，其位置紧靠样品，确保在 较短的时间内获得**量的采集信号。与其他背散射探测器不 同，这种快速的探测器在导航时、倾斜时或工作距离很短时能 够始终保持良好的材料衬度。在表征敏感样品时，探测器的优 越性能尤为突出，即使电流低至几 pA，它也能提供清晰的背散 射图像。Apreo S 复合末级透镜通过能量过滤实现高质量的材 料衬度以及绝缘样品的无电荷成像，进一步提高了 T1 BSE 探 测器的使用价值。Apreo 还提供了受欢迎的选配探头来补充其 探测能力，例如定向背散射探测器(DBS)、STEM 3+ 和低真空气 体分析探测器(GAD)。所有这些探测器都拥有独一无二的软件控 制分割功能，以便根据需求选择*有价值的样品信息。

全面实现纳米或亚纳米分辨性能，从纳米颗粒，粉末，催化 剂和纳米器件到块状磁性样品等材料。 ***的背散射电子探测始终可保证良好的材料衬度，即使 是以低电压和小束流并以任何倾斜角度对电子束敏感样品 进行 TV 速率成像是也不例外。 无比灵活的探测器可将各个探测器分割提供的信息相结 合，让用户能够获得至关重要的对比或信号强度。 各种各样的荷电缓解策略，包括样品仓压力**为 500 Pa  的低真空模式，可实现任何样品的成像。 **的分析平台提供高电子束电流，而且束斑很小。仓室支 持三个 EDS 探测器、共面的 EDS 和 EBSD 以及针对分析 而优化的低真空系统。 样品处理和导航极容易，具有多用途样品支架和 Nav-Cam+。 通过高级用户指导、预设和撤消功能为新用户提供专 家级结果。 高真空模式下成像的羟磷灰石晶体的低能量 (1 keV) 二次电子图像。

 每个 Apreo 都按标准配备各种用以处理绝缘样品的策略，包 括：高真空技术，例如 SmartSCAN™、漂移补偿帧积分(DCFI) 和 电荷过滤。对于*有挑战性的应用，Apreo 可提供电荷缓解策 略。其中包括可选的低真空（**为 500 Pa）策略，通过经现场 验证的穿镜式差分抽气机构和专用低真空探测器，不但可以缓 解任何样品上的电荷，还能提供**的分辨率和较大的分析电 流。 随着分析技术的使用越来越常规化，Apreo 仓室经过全新设计， 以便更好地支持不同的配件和实验。仓室*多容纳三个 EDS/ WDS 端口，可实现快速敏感的 X 射线测量、共面 EDS/EBSD/ TKD 排列并与（冷冻）CL、拉曼、 EBIC 和其他技术兼容。 所有这些功能都能通过简单的样品处理和熟悉的 xT UI 获得， 节省了新用户和专家级用户的时间。可自定义的用户界面提供 了诸多用户指导、自动化和远程操作选项。 通过所有这些优势（包括复合末级透镜、高级探测和灵活样品 处理）， Apreo 可提供出色的性能和多功能性，帮助您应对未 来多年的研究难题。

.8 nm 电子光学器件 • 高分辨率场发射 SEM 镜筒，配有: – 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率分 析电流 – 复合末级透镜：静电、无磁场和浸没磁技术结合而成的物 镜* – 60° 物镜几何结构：支持倾斜较大的样品 • 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 • 支持低真空*的穿镜式差分抽气结构，可减少电子束裙散效 应，以实现*精准的分析和**的分辨率 • 载物台偏压在 -4000 V 到 +600 V 之间的电子束减速 • 持续的电子束电流控制和经过优化的孔隙角度 • 双载物台扫描偏转 • 轻松安装和维护的电子枪 – 自动烘烤、自动启动、无需机械合 轴• 保证的*短灯丝寿命：24个月 电子束分辨率 ，**工作距离 型号 Apreo C Apreo S 末级透镜 静电式 复合式 高真空 30 kV (STEM) 0.8nm 15 kV 1.0 nm 0.7 nm 1 kV 1.3 nm 1.0 nm 1 kV (样品台减速) 1.0 nm 0.8 nm 500 V (样品台减速) 0.9 nm 100 V (样品台减速) 1.8 nm 低真空* 15 kV 1.2 nm 3 kV 1

默认情况下，在完成*终安装后的系统验收测试中将检验在高真空并启用浸没 模式（如果适用）的情况下电压为 1 kV 和 30 kV 时的分辨率。 电子束参数 • 电子束电流范围: 1 pA - 400 nA • 加速电压: 200 V – 30 kV • 着陆能量范围: 20 eV – 30 keV • **水平视场宽：10 mm 工作距离下为 3.0 mm（对应于 *小 放大倍率 x29） • 10mm 分析工作距离 1kV 时电子束分辨率: 1nm 仓室 • 内宽: 340 mm • 分析工作距离: 10 mm • 12 个color:rgb(35,31,32);"> 500 Pa • EDS 出射角度为 35° • 可同时安装三个 EDS 探测器, 两个处于 180° • 共面的 EDS/EBSD 与样品台的倾斜轴垂直。 探测器 Apreo 通过可用探测器或探测器的分割部分的任意组合，*多 可同时探 测四个信号： • Trinity 探测系统 (透镜内和镜筒内) – T1 分割式透镜内低位探测器 – T2 透镜内高位探测器 – T3 镜筒内探测器* • ETD – Everhart-Thornley SE 探测器 • DBS – 可伸缩分割式透镜下 BSED* • 低真空 SE 探测器* • DBS-GAD - 安装在透镜上的气体分析 BSED • STEM 3+ – 可伸缩分割式探测器（BF、DF、HADF、HAADF)* • IR-CCD • Nav-Cam+™ - 安装在仓室内的样品导航摄像头 真空系统 • 完全无油的真空系统 • 1 × 220 l/s TMP • 1 × PVP-涡旋泵 • 2 × IGP • 仓室真空（高真空）< 6.3 × 10-6 mbar（72 小时抽气后） • 抽气时间：≤ 3.5 分钟 • 可选的低真空模式 • 仓室压力为 10 到500pa

lor:rgb(35,31,32);">分割和缝合 载物台和样品 类型 共心测角台，5 轴电动 XY 110 × 110 mm 重复性 < 3.0 μm (0° 倾斜时)  电动 Z 65 mm 旋转 n × 360° 倾斜 -15° / +90° **样品高度 距共心点 85mm **样品重量 任意载物台位置均为 500g （0°倾斜时，**为 2kg） **样品尺寸 可沿 X、Y 轴完全旋转时直径为 122  mm（若样品超过此限值，则载物台行程 或旋转受限） 每个可选横杆可容纳 6 个 S/TEM 载网 • 晶圆和自定义支架* 系统控制 • 64 位 GUI (Windows 7)、键盘、可选鼠标 • 24 英寸 LCD 显示屏、WUXGA 1920 × 1200（第二台监视器 可选） • 可定制的图形用户界面，*多同时激活 4 个视图 • 图像注册 • 蒙太奇导航 • 图像分析软件 • 撤消/重做功能 • 有关基本操作/应用的用户指南 • 可选操纵杆 • 可选的手动用户界面（旋钮板） 图像处理器 • 驻留时间范围为 25 纳秒 - 25 毫秒/像素 • ** 6144 × 4096 像素 • 文件类型：TIFF（8、16、24 位）、JPEG 或 BMP • 单帧或 4 视图图像显示 • SmartSCAN（256 帧平均或积分、线积分和平均法、隔行 • 扫描） • DCFI（漂移补偿帧积分） 配件（可选） • 样品/仓室清洁：FEI CryoCleaner、FEI 集成的等离子清洗器 • 分析：EDS、EBSD、WDS、CL、拉曼 • QuickLoader™：用于快速样品传输的交换仓 • 导航：关联导航、MAPS

2);">应用培训合同 • FEI 气体注入：*多 2 个单位（其他配件可能会限制可用的 GIS 数）， 适用于以下材料的电子束诱导沉积： – 铂– 钨– 碳• 机械手 • 冷冻载物台 • 电气探查/多探查台 • 静电束闸 软件选项 • MAPS，适用于自动采集大型图像和可选的相关工作 • iFast，提供高级自动化功能 • 具有网络连接的数据归档软件 • 高级图像分析软件 文档 • 在线用户指南 • 使用说明手册 • 在线帮助 • 适用 RAPID（远程诊断支持） • 免费访问“FEI for Owners”在线资源 保修和培训 • 1 年保修 • 可选服务维护合同 • 可选操作/

35,31,32);">) 安装要求 （请参考安装前指南，以获取详细数据） • 电源： – 电压：100 - 240 V AC（-6%，+10%） – 频率：50 或 60 Hz (±1%) – 能耗：< 3.0 kVA（基本款显微镜） • 接地电阻：< 0.1 Ω • 环境： – 温度：(20 ± 3)°C – 相对湿度：低于 80% – 杂散 AC 磁场：在 20 ms（50 Hz 电源）或 17 ms（60 Hz 电 源） 线时间下，< 40 nT（异步）或 < 100 nT（同步） • *小门尺寸：0.9 m 宽 × 1.9 m 高 • 重量：镜筒控制台为 980 kg • 建议使用干氮进行放气 • 干净、干燥且无油的 4 - 6 bar 压缩空气 • 系统水冷却装置 • 噪音：根据相关声谱进行现场调查 • <span style=";font-size:13px;font-family:FZLTXHK;col