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Semilab SDI體內少數載流子擴散長及CV電性检测设备

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产品介绍

仪器简介:

应用:

◆硅料

◆太阳能

◆集成电路制造等

技术参数:

Semilab SDI设备主要用于硅片体内的少数载流子寿命(扩散长)的监测及定量定性检测影响少数载流子的寿命(扩散长)的金属污染(铁、铜等)含量。设备由光路系统、信号分析及处理系统、数据处理系统及自校准系统(设备内建有标准片)组成。

主要特点:

◆SPV(表面光电压)- 硅片表面不需要做钝化处理即可以做少数载流子寿命测试;

◆Surface Lifetime- 硅片浅层的少数载流子寿命检测;

◆Surface Recombination – 硅片的表面复合测试;

◆SPV(表面光电压)- 可测试硅片体内的Fe及B02的含量;

◆设备的Multiple wafersize 功能可以兼容测试100mm-300mm的硅片及硅棒。

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