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高真空MEMS焊封机

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German First-Nano System 德国韦氏纳米

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372

产品介绍

2温区高真空MEMS焊封机

  • 具有高可靠性的密封(可达到 10- 6 hPa)

  • MEMS器件可以在2个不同温度加热区进行工艺,温度差可高达450°,也可Getter 激活前密封

  • 可以加工6MEMS平行工艺焊封(**6个适配器每个直径14mm)

  • 在真空中的温度升率:35 K /M

  • PID 控制器允许多达20个程序,每个程序可100个步骤存储

  • USB接口可以方便编程和存储无限程序。过程数据可以记录并保存

  • 开放视窗结构允许连续监测/观看的过程

  • 该系统使用与小量和概念MEMS,相比其他系统是一个低成本的解决方案

应用:

  • 焊缝MEMS微机械系统

  • 吸气剂活化

  • 两温区热处理工艺

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