型号

ELS-F125

ELS-F100

ELS-HS50

电子枪

ZrO/W 热场发射枪

ZrO/W 热场发射枪

ZrO/W 热场发射枪

加速电压

125 kV， 75 kV， 25 kV

100 kV， 50 kV， 25 kV

50 kV， 20 kV

*小束流直径

Φ 1.7 nm (@ 125 kV)

Φ 1.8 nm (@ 100 kV)

Φ 2.8nm (@ 50 kV，1 nA)

*小线宽

5 nm or less (@125 kV)

6 nm or less (@100 kV)

20 nm (@ 50 kV， 2 nA)

电子束束流

5 pA to 100 nA

20 pA to 100 nA

1 nA to 1 μA

视场范围

Max. 3，000 μm ｘ 3，000 μm

Max. 3，000 μm ｘ 3，000 μm

Max. 3，000 μm ｘ 3，000 μm

Min. 100 μm ｘ 100 μm

Min. 100 μm ｘ 100 μm

Min. 100 μm ｘ 100 μm

束流定位

Max. 1，000，000 ｘ 1，000，000 (20bit DAC)

Max. 1，000，000 ｘ 1，000，000 (20bit DAC)

Max. 1，000，000 ｘ 1，000，000 (20bit DAC)

束流定位分辨率

Min. 0.1 nm

Min. 0.1 nm

Min. 0.1 nm

大样品尺寸

8" wafer or 7" square mask

8" wafer or 7" square mask

8" wafer or 7" square mask