粉体行业在线展览
W-150A/B-6K 微波等离子化学气相沉积系统
面议
铂世光
W-150A/B-6K 微波等离子化学气相沉积系统
271
系统特点: |
·采用方位换向对称方式微波耦合,来提高微波的均匀性 |
·稳定沉积面积20cm2 |
·**功率达到6KW |
·使用纯净的石英窗 |
·采用不锈钢反应腔,能耐高温 |
设备的优势: |
·反应可控,能长时间稳定工作在6KW |
·所有电子设备中采用微波,没有电极放电,没有金属污染 |
·高功率高密度等离子体稳定在离石英窗一定位置,减少硅的析出 |
·参照C/H/O比例表,对反应物有更大的选择余地 |