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W-150A/B-6K 微波等离子化学气相沉积系统

W-150A/B-6K 微波等离子化学气相沉积系统

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上海铂世光半导体科技有限公司

上海

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面议

品牌:

铂世光

型号:

W-150A/B-6K 微波等离子化学气相沉积系统

关注度:

271

产品介绍

系统特点:
·采用方位换向对称方式微波耦合,来提高微波的均匀性
·稳定沉积面积20cm2
·**功率达到6KW
·使用纯净的石英窗
·采用不锈钢反应腔,能耐高温


设备的优势:
·反应可控,能长时间稳定工作在6KW
·所有电子设备中采用微波,没有电极放电,没有金属污染
·高功率高密度等离子体稳定在离石英窗一定位置,减少硅的析出
·参照C/H/O比例表,对反应物有更大的选择余地





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W-150A/B-6K 微波等离子化学气相沉积系统

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