半导体行业专用仪器-电子束系统-厦门毅睿科技有限公司-产品详情

电子束系统

定制-电子束系统

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厦门毅睿科技有限公司

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品牌：

毅睿/芯壹方

型号：

定制-电子束系统

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电子束系统

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Description:

●专为金属、电介质、氧化物、半导体和合金的沉积而设计，用于研发实验室和试生产应用

●可配置离子束清洗和离子辅助沉积(IAD)的离子源

●可实现<+/-3%的均匀沉积

●系统可配备不同的真空泵，用于高压和超高压

●多功能、操作简便、长期可靠，适用于单层和多层薄膜蒸发

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