半导体行业专用仪器-RTR溅镀-厦门毅睿科技有限公司-产品详情

RTR溅镀

定制-RTR溅镀

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厦门毅睿科技有限公司

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品牌：

毅睿/芯壹方

型号：

定制-RTR溅镀

关注度：

201

产品介绍

RTR溅镀

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主辊直径	1,000mm(φ) x600/1500mm(D)
真空室	5 chambers (Unwind、Pre-Heat、 Coating 、Cooling 、Rewind
有效涂层宽度	1,350mm/500mm
厚度	15~250μm
速度	0.5~20M/min
传输张力	2~7Kg @1~3 m/min
对准	≤±2mm@1~3m/min
溅射材料	ITO 、Nb₂O₅,、SiO₂、Si、Nb_zOX、Cu
厚度均匀性	≤±3%
靶材利用率	70%
阴极	Rotatable cathode 4~ 6 sets

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