半导体行业专用仪器-冈本OKAMOTO半自动CMP化学机械抛光机-一桥半导体科技（苏州）有限公司-产品详情

冈本OKAMOTO半自动CMP化学机械抛光机

SPP800S

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一桥半导体科技（苏州）有限公司

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SPP800S

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SPP800S 是半自动通用抛光型设备，不仅可以处理氧化层和金属膜，而且可以去除晶圆表面损伤层。该机型装备有两个抛光头和一个定盘修正头，可实现高的吞吐量。它具有独特的软件和触摸屏，使用操作方便。

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冈本OKAMOTO半自动CMP化学机械抛光机

SPP800S

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