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CDP-800全自动

CDP-800

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北京艾姆希半导体科技有限公司

北京

产品规格型号
参考报价:

面议

型号:

CDP-800

关注度:

29

产品介绍

  • 抛光头可实现3 zone压力控制

  • 全系列机型可加工2-8寸及异形晶圆

  • 纳米级别移除精度

  • 抛光粗糙度、速率、一致性行业**

  • 具备精准的光学EPD终点检测功能

  • 抛光头压力可调制高达12psi

  • 可编辑和储存至少100条以上工艺菜单

  • 可实现盘温监控、自动冷却、自动冲洗


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