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TSU650高真空多功能镀膜系统
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TSU650高真空多功能镀膜系统
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一、功能描述：
特点/用途
该系统为高真空新型阴极弧源 +磁控溅射+离子源及直流脉冲偏压电源辅助联合镀膜系统，该系统广泛用于精密刀具和模具或轴承等外表面内表面上沉积高性能耐磨擦、耐腐蚀陶瓷、金属功能导电薄膜等，如TiAlN、TiN、Cu、Al、ITO等；
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