半导体行业专用仪器-晶圆内应力检测仪 Strain Viewer-苏州瑞霏光电科技有限公司-产品详情

粉体行业在线展览

>晶圆内应力检测仪 Strain Viewer

产品

晶圆内应力检测仪 Strain Viewer

Strain Viewer

直接联系

苏州瑞霏光电科技有限公司

江苏

产品规格型号

参考报价：

面议

型号：

Strain Viewer

关注度：

202

产品介绍

具备化合物晶圆和蓝宝石晶圆内应力分布定量测量及缺陷定位筛查的功能

产品编号

SV200, SV300

所属分类

半导体制造量检测产品方案

晶圆内应力检测仪（SV系列）

Strain Viewer 技术规格

产品型号	SV200	SV300
样品测量口径	兼容2-8英寸晶圆 (200*200mm) 可订制化样品载台	兼容2-12英寸晶圆 (300*300mm) 可订制化样品载台
应力测量输出内容	相位延迟（°）及光学延迟（nm）归一化延迟（nm/mm）综合应力（MPa）及方位角
测量光源	630nm LED光源 (可选配其它光源)
尺寸量测横向分辨率	25μm
应力测量范围	0~150nm光学延迟
方位角测量范围	0-180 °
测量重复性	0.5nm光学延迟，0.5 °方位角
测量准确性	±1nm光学延迟, ±1.5 °方位角
应力图像解析度	1600 万像素（@6英寸晶圆）	3400 万像素（@8英寸晶圆） 7700 万像素（@12英寸晶圆）
单次测量时间	典型<35秒（@6英寸晶圆）	<50秒（@8英寸晶圆） <1.5分钟（@12英寸晶圆）
样品载台	大尺寸电动XY位移台： 250*350mm 支持自动拼接	大尺寸电动XY位移台： 320*700mm 支持自动拼接
微管缺陷计数模块	可选配
设备尺寸	一体式机柜：870mm* 950mm* 1800mm 可加装晶圆自动传片系统	一体式机柜：1050mm* 1230mm* 1800mm 可加装晶圆自动传片系统