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Micro1000
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苏州瑞霏光电科技有限公司
江苏
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Micro1000
209
产品编号
Micro1000
所属分类
半导体制造量检测产品方案
精密光学量检测产品方案
白光干涉显微镜系列
三维测量显微镜
高端三维测量显微镜系列（通用型）
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三维测量显微镜
从产品研发到质量控制，Micro1000 系统可以用于对从超光滑镜面到粗糙面的各种样品进行表面微观测量分析和粗糙度质量评价。
Micro1000 技术规格
| 项目 | 参数 | |
|---|---|---|
| 技术参数 | 测量模式 | PSI / VSI / 超景深/明场 |
| 单次测量视场（20X物镜） | 500*350μm（可自动拼接） | |
| 角度调整 | ±12°手动 | |
| Z轴调节 | 20mm电动 + 50mm手动（粗精微调机构） | |
| 纵向扫描范围 | 0-10mm | |
| 纵向分辨率 | <0.2nm | |
| 粗糙度纵向测量重复性 | 0.01nm（PSI 模式） | |
| 台阶高度测量示值误差 | <0.75%（VSI 模式） | |
| 横向分辨率：@550nm | 0.69μm （20x 物镜） | |
| 可测样品反射率 | 0.1%-100% | |
| 测量时间 | ＜5s （PSI模式） | |
检测功能 | 分析功能 | 三维高度测量，三维粗糙度分析，二维尺寸测量 |
| 3D数据输出 | 3D点云数据，灰度图像数据，订制报告 | |
| 物镜倍率 | 数值孔径 | 光学分辨率@550nm (μm) | 焦深 (μm) | 工作距离(mm) |
|---|---|---|---|---|
| 2.5x | 0.075 | 3.7 | 48.6 | 10.3 |
| 5x | 0.13 | 2.1 | 16.2 | 9.3 |
| 10x | 0.3 | 0.92 | 3.04 | 7.4 |
| 20x | 0.4 | 0.69 | 1.71 | 4.7 |
| 50x | 0.55 | 0.5 | 0.9 | 3.4 |
| 100x | 0.7 | 0.4 | 0.56 | 2.0 |
Micro1000 操作简便，测量功能完善，涵盖纳米级微观轮廓，二维尺寸以及光谱分析，通用性强，精度高，助力我们的客户在精密制造和材料研发中处于**地位。
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